Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
- Авторы:Алексей Иванович Мочалов, Евгений Владимирович Данилкин, Вячеслав Александрович Галперин
- Серия: Нанотехнологии
- Жанр:Техническая литература
- Страницы: 285
- Возраст: 12
- Формат: fb2, epub, pdf, txt
Советуем прочитать похожую литературу

Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем,...
Отзывы (0)
Вам понравилось читать онлайн книгу «Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие»? Уделите пару минут, что бы оставить полезный отзыв другому читателю.