Элионная технология в микро- и наноиндустрии
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии.
- Авторы:Аскер Русланович Кушхов, Геннадий Дмитриевич Кузнецов, Билал Аругович Билалов
- Жанр:Техническая литература
- Страницы: 157
- Формат: mp3, fb2, epub, pdf, txt
Советуем прочитать похожую литературу
Ионно-плазменная обработка материалов
В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и...
Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с...
Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с...
Учебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом,...
Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы
В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров...
Отзывы (0)
Вам понравилось читать онлайн книгу «Элионная технология в микро- и наноиндустрии»? Уделите пару минут, что бы оставить полезный отзыв другому читателю.