Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций

В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра – Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменного получения пленок нитридов металлов и карбида кремния, а также формирования топологии микросхем с применением неразрушающих методов контроля. Обсуждаются и анализируются особенности технологии молекулярнопучковой и МОС-гидридной эпитаксии полупроводниковых соединений. Излагаются основы синтеза сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов и структурно-ориентационного изоморфизма.
- Авторы:Геннадий Дмитриевич Кузнецов, Сергей Борисович Симакин, Дарья Николаевна Демченкова
- Жанр:Техническая литература
- Страницы: 192
- Формат: mp3, fb2, epub, pdf, txt
Советуем прочитать похожую литературу

Конструирование компонентов и элементов микро- и наноэлектроники....

Вакуумная и плазменная электроника

Вакуумная и плазменная электроника

Методики определения параметров вакуумных систем

Микроэлектроника. Компьютерное моделирование параметров...
