На главную » Геннадий Дмитриевич Кузнецов » Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций

Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций

Обложка книги  «Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций»

В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра – Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменного получения пленок нитридов металлов и карбида кремния, а также формирования топологии микросхем с применением неразрушающих методов контроля. Обсуждаются и анализируются особенности технологии молекулярнопучковой и МОС-гидридной эпитаксии полупроводниковых соединений. Излагаются основы синтеза сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов и структурно-ориентационного изоморфизма.

  • Авторы:Геннадий Дмитриевич Кузнецов, Сергей Борисович Симакин, Дарья Николаевна Демченкова
  • Жанр:Техническая литература
  • Страницы: 192
  • Формат: mp3, fb2, epub, pdf, txt

Скачать книгу Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций:

Советуем прочитать похожую литературу

Отзывы (0)
Вам понравилось читать онлайн книгу «Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций»? Уделите пару минут, что бы оставить полезный отзыв другому читателю.
Добавить