Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом

В данном пособии приводятся расчеты взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом. Обсуждаются закономерности упругих и неупругих потерь энергии ионом при взаимодействии с атомами и электронами твердо› го тела материалов электронной техники. Рассматриваются типовые источ› ники ионов, применяемые в технологии электронной техники. Анализируют› ся области проявления таких эффектов взаимодействия, как распыление, дефектообразование и внедрение ионов.
- Жанр:Техническая литература
- Страницы: 55
- Формат: mp3, fb2, epub, pdf, txt
Советуем прочитать похожую литературу

Конструирование компонентов и элементов микро- и наноэлектроники....
В пособии излагаются теоретические основы работы программы SimWindows 1.5, предназначенной для...

Вакуумная и плазменная электроника
Лабораторный практикум выполняется по курсу «Вакуумная и плазменная электроника». В нем...

Вакуумная и плазменная электроника
Рассматриваются физические основы вакуумной и плазменной электроники и основные направления их...

Методики определения параметров вакуумных систем
Лабораторный практикум выполняется по курсу «Вакуумная техника». В нем рассматриваются методики...

Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций
В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных...

Микроэлектроника. Компьютерное моделирование параметров...
В данном пособии излагаются теоретические основы работы программы SimWindows 1.5,...
Отзывы (0)
Вам понравилось читать онлайн книгу «Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом»? Уделите пару минут, что бы оставить полезный отзыв другому читателю.