Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.
- Авторы:Аскер Русланович Кушхов, Геннадий Дмитриевич Кузнецов, Сергей Петрович Курочка, Дарья Николаевна Демченкова, Александр Сергеевич Курочка
- Жанр:Техническая литература
- Страницы: 142
- Формат: mp3, fb2, epub, pdf, txt
Советуем прочитать похожую литературу
Мемуары гидростроителя. Воспоминания о детстве, юности, учебе,...
В книге приведены воспоминания о детстве и учебе на моей малой родине, в г. Данкове, и...
Электрические строки. Сборник публикаций
Взгляд на трамваи и троллейбусы Екатеринбурга изнутри. Публицистический маршрут по страницам...
Основные магистральные самолёты авиакомпаний России. Особенности...
Книга может быть полезной для авиаспециалистов, изучающих конструкцию планера и функциональных...
Особенности работы лоуд-мастера грузового самолета
Книга может оказаться полезной для обучения лоуд-мастеров (операторов погрузочно-разгрузочных...
Персональные видеорегистраторы для личной безопасности. Обзор,...
Первыми (2014 год) персональными видеорегистраторами (нательными камерами) оснащали полицейских,...
Битва за города. Как изменить наши улицы. Революционные идеи в...
К концу XX века мегаполисы с их бешеным ритмом, высокой плотностью населения и дорожными...
Отзывы (0)
Вам понравилось читать онлайн книгу «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы»? Уделите пару минут, что бы оставить полезный отзыв другому читателю.