Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
- Авторы:Светлана Аркадьевна Козубняк, Кирилл Геннадьевич Потловский, Евгений Александрович Скороходов
- Жанр:Учебная литература
- Страницы: 69
- Формат: mp3, fb2, epub, pdf, txt
Советуем прочитать похожую литературу
Странное яблоко
13 поучительных рассказов, в которых говорят… предметы, растения и явления природы! Узнайте, о...
Ручной труд. Уроки в 3 классе учреждения, реализующего...
В пособии представлен материал для обучения простейшим навыкам ручного труда в третьем классе...
Сказочные животные. Раскраски с дорисовыванием. Для вырезания и...
Раскрашивание, вырезание по контуру и аппликация заслуженно считаются очень эффективными...
На творческой волне. Сборник сценариев различных мероприятий с...
Данный сборник представляет собой опыт моей работы в качестве методиста-организатора...
Семь чудес света. Дерзкие реконструкции
Эта книга – попытка в необычной, запоминающейся форме донести до юного читателя сухие...
Наследники духовных традиций медицины
В учебном пособии затрагиваются наиболее важные проблемы, характерные для современного...
Отзывы (0)
Вам понравилось читать онлайн книгу «Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники»? Уделите пару минут, что бы оставить полезный отзыв другому читателю.