Основы радиационных технологий. Расчет режимов ионной имплантации и профиля распределения имплантированных атомов примеси на примере изготовления кремниевых солнечных элементов n+–p–p+(p+–n–n+)-типа
В методических указаниях рассматриваются принципы расчета режимов ионной имплантации при формировании структур n+–p–p+(p+–n–n+)-типа и профилей распределения имплантированной примеси. Излагается методика расчета в программе Math Cad 2001.
- Авторы:Владимир Петрович Астахов, Андрей Андреевич Полисан
- Жанр:Техническая литература
- Страницы: 19
- Формат: mp3, fb2, epub, pdf, txt
Советуем прочитать похожую литературу
Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов...
В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего...
Основы технологии электронной компонентной базы
Содержит описание трех практических занятий, в которых изучаются такие процессы создания...
Отзывы (0)
Вам понравилось читать онлайн книгу «Основы радиационных технологий. Расчет режимов ионной имплантации и профиля распределения имплантированных атомов примеси на примере изготовления кремниевых солнечных элементов n+–p–p+(p+–n–n+)-типа»? Уделите пару минут, что бы оставить полезный отзыв другому читателю.