На главную » Юрий Васильевич Панфилов » Формирование функциональных слоев

Формирование функциональных слоев

Обложка книги  «Формирование функциональных слоев»

Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».

  • Жанр:Разное
  • Страницы: 92
  • Формат: mp3, fb2, epub, pdf, txt

Скачать книгу Формирование функциональных слоев:

Советуем прочитать похожую литературу

Отзывы (0)
Вам понравилось читать онлайн книгу «Формирование функциональных слоев»? Уделите пару минут, что бы оставить полезный отзыв другому читателю.
Добавить