Формирование функциональных слоев

Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».
- Жанр:Разное
- Страницы: 92
- Формат: mp3, fb2, epub, pdf, txt
Советуем прочитать похожую литературу

Элионные процессы и нанотехнологии
Методические материалы содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и...
Отзывы (0)
Вам понравилось читать онлайн книгу «Формирование функциональных слоев»? Уделите пару минут, что бы оставить полезный отзыв другому читателю.